基于MEMS悬臂梁的生化检测技术研究
文献类型:学位论文
作者 | 李男男 |
学位类别 | 博士后 |
答辩日期 | 2016-06-16 |
授予单位 | 中国科学院研究生院 |
授予地点 | 北京 |
导师 | 杨晋玲 |
关键词 | 微机械悬臂梁 耦合悬臂梁阵列 表面反应 微流体系统 |
学位专业 | 电子科学与技术 |
中文摘要 | 微机械悬臂梁阵列生化传感器具有可批量制造、成本低,响应速度快,无标记检测、操作简单、灵敏度高、精度高、易于IC集成、高通量和多标志物联合检测等特点,已成为当今世界各国学者的研究热点。 在博士后工作期间,着重对基于微机械悬臂梁阵列生化传感器的便携式生化检测仪进行了研究,主要工作包括以下几个方面: 对微悬臂梁表面抗体-抗原吸附反应进行了研究,采用有限元方法研究了微悬臂梁表面反应与抗原分子扩散运动、热力学温度和流体作用的关系,研究了清洗过程中抗体-抗原特异性吸附的解离过程。结果表明,在癌症早筛的低浓度检测范围内(0-100 ng/ml),微悬臂梁表面吸附抗原的量与抗原浓度成线性关系;微悬臂梁表面吸附抗原分子的量与反应温度的关系密切,当反应温度变化达到±2℃时,温度变化引入的噪声信号为±1 Hz,需要对检测结果进行温度补偿;根据有限元分析结果,确定了微悬臂梁表面抗原-抗体生化反应的最佳反应/清洗时间。 设计了微悬臂梁传感器嵌入式封装结构和低温封装方法;采用有限元方法对微悬臂梁传感器的生化反应腔室流速分布进行了研究,优化生化反应腔室结构;设计并实现了生化反应微流体系统,并集成于便携式生化检测仪样机,实现了对肝癌标志物的检测分析。 |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2016-06-23 |
源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27202] |
专题 | 半导体研究所_半导体集成技术工程研究中心 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李男男. 基于MEMS悬臂梁的生化检测技术研究[D]. 北京. 中国科学院研究生院. 2016. |
入库方式: OAI收割
来源:半导体研究所
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