物体表面形貌的正弦相位调制实时干涉测量技术研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 何国田 ; 王向朝 ; 曾爱军 |
| 刊名 | 光学学报
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 27期号:11页码:1997 |
| 关键词 | 光学测量 表面形貌 实时测量 正弦相位调制干涉仪 激光二极管 图像传感器 optical measurement surface profile real-time measurement sinusoidal phase-modulating interferometer laser diode image sensor |
| ISSN号 | 0253-2239 |
| 其他题名 | Real-Time Surface Profile Measurement Using Sinusoidal Phase-Modulating Interferometry |
| 中文摘要 | 表面形貌干涉测量技术是一种高精度的非接触式测量技术,在工业生产和科学研究中具有广泛的应用。提出一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉测量新技术。该技术用激光二极管作光源,用自制的高速图像传感器探测干涉信号,通过信号处理电路实时解相得到被测表面所对应的相位分布,实时分析相位获得物体表面形貌。该技术消除了光强和部分外界干扰的影响,提高了系统的测量精度。楔形光学平板表面形貌的测量结果表明,测量点为60×60个的情况下,测量时间小于8.2 ms,重复测量精度(RMS)为4.3 nm。; A sinusoidal phase-modulating (SPM) interferometer for real-time surface profile measurement is proposed and analyzed. A laser diode and a high-speed image sensor are used as the light source and the photo detector. The phase corresponding to each measurement point on the surface is calculated by a signal processing circuit. The surface profile is obtained by the phase distribution . The interferometer is insensitive to vibrations of the optical components and fluctuations in the light source. The surface profile of an optical wedge was measured . For 60×60 measurement points, the measurement time was less than 8.2 ms. Repeatability in the measurements was 4.3 nm. |
| 分类号 | TN247 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-18 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2224]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 何国田,王向朝,曾爱军. 物体表面形貌的正弦相位调制实时干涉测量技术研究[J]. 光学学报,2007,27(11):1997, 2002. |
| APA | 何国田,王向朝,&曾爱军.(2007).物体表面形貌的正弦相位调制实时干涉测量技术研究.光学学报,27(11),1997. |
| MLA | 何国田,et al."物体表面形貌的正弦相位调制实时干涉测量技术研究".光学学报 27.11(2007):1997. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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