椭偏仪的研究进展
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 杨坤 ; 王向朝 ; 步扬 |
| 刊名 | 激光与光电子学进展
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| 出版日期 | 2007 |
| 卷号 | 44期号:3页码:43 |
| 关键词 | 椭偏仪 ellipsometer 膜厚 thickness of thin film 折射率 refractive index |
| ISSN号 | 1006-4125 |
| 其他题名 | Research Progress of Ellipsometer |
| 中文摘要 | 主要介绍了椭偏仪的测量原理，比较了不同结构的椭偏仪，并根据具体应用需求介绍了椭偏光谱仪、红外椭偏光谱仪、成像椭偏仪和广义椭偏仪，分析了椭偏仪的数据处理过程，最后展望了椭偏仪的发展趋势。; The working principle of the ellipsometers is described. Different configurations of ellipsometers are compared. According to different applications, spectroscopic ellipsometer, infrared spectroscopic ellipsometer, imaging ellipsometer and generalized ellipsometer are introduced, respectively. The data processing of ellipsometer is also analyzed. Finally, the future development of ellipsometer is prospected. |
| 分类号 | TH744.2 |
| 收录类别 | 0 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-18 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2228]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 杨坤,王向朝,步扬. 椭偏仪的研究进展, Research Progress of Ellipsometer[J]. 激光与光电子学进展,2007,44(3):43, 49. |
| APA | 杨坤,王向朝,&步扬.(2007).椭偏仪的研究进展.激光与光电子学进展,44(3),43. |
| MLA | 杨坤,et al."椭偏仪的研究进展".激光与光电子学进展 44.3(2007):43. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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