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化学研究所
中国科学院化学研究所
其它
材料的图案化方法
文献类型:专利
作者
刘云圻
;
张磊
;
刘洪涛
;
赵岩
;
孙向南
;
温雨耕
;
郭云龙
;
高希珂
;
狄重安
;
于贵
发表日期
2013-06-19
专利类型
发明
申请日期
2011-06-09
专利申请号
zl201110154332.1
源URL
[
http://ir.iccas.ac.cn/handle/121111/33747
]
专题
化学研究所_其它
作者单位
中国科学院化学研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘云圻,张磊,刘洪涛,等. 材料的图案化方法. 2013-06-19.
入库方式:
OAI收割
来源:
化学研究所
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