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材料的图案化方法

文献类型:专利

作者刘云圻; 张磊; 刘洪涛; 赵岩; 孙向南; 温雨耕; 郭云龙; 高希珂; 狄重安; 于贵
发表日期2013-06-19
专利类型发明
申请日期2011-06-09
专利申请号zl201110154332.1
源URL[http://ir.iccas.ac.cn/handle/121111/33747]  
专题化学研究所_其它
作者单位中国科学院化学研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
刘云圻,张磊,刘洪涛,等. 材料的图案化方法. 2013-06-19.

入库方式: OAI收割

来源:化学研究所

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