Multi-Diagnostic Transverse Profile Monitor Chamber for Extreme Ultraviolet Lithography
文献类型：会议论文
| 作者 | T.J.Campese; R.B.Agustsson; M.A.Harrison; B.T.Jacobson; A.Y.Murokh; A.G.Ovodenko; M.Ruelas; H.L.To |
| 出版日期 | 2015 |
| 会议名称 | Proceedings of the 4th International Beam Instrumentation Conference |
| 会议日期 | 2015 |
| 会议地点 | Australia |
| 会议录 | Proceedings of the 4th International Beam Instrumentation Conference
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| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/229645]  |
| 专题 | 高能物理研究所_学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_IBIC |
| 作者单位 | RadiaBeam, Santa Monica, California, USA |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | T.J.Campese,R.B.Agustsson,M.A.Harrison,et al. Multi-Diagnostic Transverse Profile Monitor Chamber for Extreme Ultraviolet Lithography[C]. 见:Proceedings of the 4th International Beam Instrumentation Conference. Australia. 2015. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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