Coma measurement by use of an alternating phase-shifting mask mark with a specific phase width
文献类型：期刊论文
| 作者 | Zicheng Qiu ; Xiangzhao Wang ; Qiongyan Yuan ; and Fan Wang |
| 刊名 | applied optics
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| 出版日期 | 2009-01-10 |
| 卷号 | 48期号:2页码:261-269 |
| 合作状况 | 其它 |
| 学科主题 | 物理光学 ; 干涉与衍射 ; 激光技术 ; 光检测技术 |
| 收录类别 | 其他 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2010-04-19 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/6344]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_信息光学开放实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Zicheng Qiu,Xiangzhao Wang,Qiongyan Yuan,et al. Coma measurement by use of an alternating phase-shifting mask mark with a specific phase width[J]. applied optics,2009,48(2):261-269. |
| APA | Zicheng Qiu,Xiangzhao Wang,Qiongyan Yuan,&and Fan Wang.(2009).Coma measurement by use of an alternating phase-shifting mask mark with a specific phase width.applied optics,48(2),261-269. |
| MLA | Zicheng Qiu,et al."Coma measurement by use of an alternating phase-shifting mask mark with a specific phase width".applied optics 48.2(2009):261-269. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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