SIMULATION OF THE TRAJECTORY OF ELECTRONS IN A MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM OF TIN WITH CST PARTICLE STUDIO
文献类型：会议论文
| 作者 | J.Wang; L.Fan; Y.Z.Hong; W.L.Liu; X.T.Pei,K.Tang; Y.Wang; W.Wei; Y.H.Xu; B.Zhang |
| 出版日期 | 2014 |
| 会议名称 | Proceedings of the 5th International Particle Accelerator Conference (IPAC 2014) |
| 会议日期 | 2014 |
| 会议地点 | Germany |
| 源URL | [http://ir.ihep.ac.cn/handle/311005/236534]  |
| 专题 | 学术会议_国际参会_JaCoW高能所参会会议_IPAC |
| 作者单位 | USTC/NSRL, Hefei, Anhui, People's Republic of China |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | J.Wang,L.Fan,Y.Z.Hong,et al. SIMULATION OF THE TRAJECTORY OF ELECTRONS IN A MAGNETRON SPUTTERING SYSTEM OF TIN WITH CST PARTICLE STUDIO[C]. 见:Proceedings of the 5th International Particle Accelerator Conference (IPAC 2014). Germany. 2014. |
入库方式： OAI收割
来源：高能物理研究所
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