掺入有机硅提高溶胶-凝胶二氧化硅减反膜的稳定性研究
文献类型:期刊论文
作者 | 李海元 ; 唐永兴 |
刊名 | 中国激光
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出版日期 | 2006 |
卷号 | 33期号:1页码:116 |
关键词 | 薄膜 溶胶凝胶 二氧化硅 减反膜 稳定性 有机硅 |
ISSN号 | 0258-7025 |
其他题名 | Study on stability of porous silica antireflective coatings prepared by sol-gel processing dash with organic silica |
中文摘要 | 膜层稳定性对于激光器能否长期稳定使用极为重要。多孔SiO。减反膜经热处理后,结构中还存在许多Si—OH亲水基团,透过率稳定性受环境相对湿度的影响较大。向膜层中掺入有机硅,添加疏水基团,提高了膜层的疏水性,增强了膜层的透过率稳定性。膜层中加了Si-CH3疏水基团,膜层的疏水性大大提高;当Si-CH3与二氧化硅悬胶体中的Si的摩尔比为1/5.7时,即Si—CH3质量分数为0.35%时的二氧化硅膜层,其减反效果好,疏水性也高,从而大幅度提高了膜层的透过率稳定性,延长了膜层的寿命,对二氧化硅膜层具有高激光损伤阈值 |
分类号 | O484 |
收录类别 | ei |
语种 | 中文 |
公开日期 | 2009-09-18 |
源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/2968] ![]() |
专题 | 上海光学精密机械研究所_高功率激光物理国家实验室 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 李海元,唐永兴. 掺入有机硅提高溶胶-凝胶二氧化硅减反膜的稳定性研究[J]. 中国激光,2006,33(1):116, 119. |
APA | 李海元,&唐永兴.(2006).掺入有机硅提高溶胶-凝胶二氧化硅减反膜的稳定性研究.中国激光,33(1),116. |
MLA | 李海元,et al."掺入有机硅提高溶胶-凝胶二氧化硅减反膜的稳定性研究".中国激光 33.1(2006):116. |
入库方式: OAI收割
来源:上海光学精密机械研究所
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