五自由度纳米级定位精度机构的研制
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 王勇 ; 刘志刚 ; 薄锋 ; 朱健强 |
| 刊名 | 机械设计与制造
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| 出版日期 | 2005 |
| 期号 | 2页码:90 |
| 关键词 | 精密定位 Precision positioning 柔性机构 Compliant mechanism 压电／电致伸缩驱动 Piezo-driven mechanism |
| ISSN号 | 1001-3997 |
| 其他题名 | Development of five-DOF integrated stage with nano-precision positioning |
| 中文摘要 | 提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法。工作台采用压电陶瓷作为驱动元件，柔性导向机构实现平移及转动功能。整个工作台可由整块金属材料通过线切割加工制成，实现一体化加工，而且结构紧凑。并给出导向机构刚度计算公式及设计实例。; This paper presents a new type of nanopositioning stage which has five degree of freedom; the stage is driven by piezoelectric actuators and guided by compliant hinges. The stage can be fabricated with an integrated metal through wire electro discharge machining and is compact. The equation of compliant mechanisms and a design case is also presented in this paper. |
| 分类号 | TH165 |
| 收录类别 | 0 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-18 ; 2010-10-12 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/3034]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_高功率激光物理国家实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王勇,刘志刚,薄锋,等. 五自由度纳米级定位精度机构的研制, Development of five-DOF integrated stage with nano-precision positioning[J]. 机械设计与制造,2005(2):90, 91. |
| APA | 王勇,刘志刚,薄锋,&朱健强.(2005).五自由度纳米级定位精度机构的研制.机械设计与制造(2),90. |
| MLA | 王勇,et al."五自由度纳米级定位精度机构的研制".机械设计与制造 .2(2005):90. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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