五自由度纳米级定位工作台的设计研究
文献类型：期刊论文
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| 作者 | 王勇 ; 刘志刚 ; 薄锋 ; 朱健强 |
| 刊名 | 中国机械工程
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| 出版日期 | 2005 |
| 卷号 | 16期号:15页码:1317 |
| 关键词 | 精密定位 precision positioning 柔性机构 compliantmechanism 压电／电致伸缩驱动 piezo-driven mechanism 五自由度 5-DOF |
| ISSN号 | 1004-132X |
| 其他题名 | Design and research of 5-DOF Integrated nanopositioning stage |
| 中文摘要 | 提出一种新型的五自由度精密定位平台的工作原理及其设计方法。工作台采用柔性导向机构实现平移及转动功能，采用压电陶瓷作为驱动元件，外置纳米级电容传感器作为位移量测量反馈元件，采用数字PID控制方法，可以实现纳米级精度的定位。给出了多种形式柔性导向机构刚度计算公式及设计实例。; This paper presented a new type of 5-DOF nanopositioning stage, and the design theory and method was introduced. The linear and rotarymotions of the stage was guided by flexure hinges and driven by piezoelectric actuators. Capacitive position sensors with nanometer accuracy were fixed on the stage to detect the displacement of motion and provide feedback signals to controller. The equation of compliant mechanisms and a design case are also presented. |
| 分类号 | TH112 |
| 收录类别 | ei |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-18 ; 2010-10-12 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/3050]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_高功率激光物理国家实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王勇,刘志刚,薄锋,等. 五自由度纳米级定位工作台的设计研究, Design and research of 5-DOF Integrated nanopositioning stage[J]. 中国机械工程,2005,16(15):1317, 1321. |
| APA | 王勇,刘志刚,薄锋,&朱健强.(2005).五自由度纳米级定位工作台的设计研究.中国机械工程,16(15),1317. |
| MLA | 王勇,et al."五自由度纳米级定位工作台的设计研究".中国机械工程 16.15(2005):1317. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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