高精度电容式位移传感器关键技术的研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 师树恒 ; 王斌 ; 朱健强 |
| 刊名 | 仪表技术与传感器
 |
| 出版日期 | 2007 |
| 期号 | 7页码:1 |
| 关键词 | 电容 位移传感器 激励电路 |
| ISSN号 | 1002-1841 |
| 其他题名 | Research of Key Technology for High Precision Capacitive Displacement Sensor |
| 中文摘要 | 研制了一种高精度电容式位移传感器，详细介绍了该传感器的基本工作原理和提高传感器精度的关键技术，对电容传感器的具体电路进行模块化设计；分析影响传感器精度与稳定性的因素，采用完全等电位屏蔽技术，对正弦激励电路、参考电容、传感器测头、电源进行技术改进，最后对电容传感器进行系统标定。实验证明：该传感器测量范围为±5-±40μm，测量分辨率〈10nm，测量精度〈20nm． |
| 分类号 | TP212 |
| 收录类别 | 0 |
| 语种 | 中文 |
| 公开日期 | 2009-09-18 |
| 源URL | [http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/3160]  |
| 专题 | 上海光学精密机械研究所_高功率激光物理国家实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 师树恒,王斌,朱健强. 高精度电容式位移传感器关键技术的研究[J]. 仪表技术与传感器,2007(7):1, 2. |
| APA | 师树恒,王斌,&朱健强.(2007).高精度电容式位移传感器关键技术的研究.仪表技术与传感器(7),1. |
| MLA | 师树恒,et al."高精度电容式位移传感器关键技术的研究".仪表技术与传感器 .7(2007):1. |
入库方式： OAI收割
来源：上海光学精密机械研究所
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