一种测试复合硅衬底上多层石墨烯样品层数的方法
文献类型：专利
| 作者 | 谭平恒 ; 李晓莉 ; 韩文鹏 ; 乔晓粉 |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院半导体所 |
| 学科主题 | 半导体物理 |
| 公开日期 | 2016-09-28 |
| 申请日期 | 2015-04-01 |
| 专利申请号 | CN201510151989.0 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27565]  |
| 专题 | 半导体研究所_半导体超晶格国家重点实验室 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谭平恒,李晓莉,韩文鹏,等. 一种测试复合硅衬底上多层石墨烯样品层数的方法. |
入库方式： OAI收割
来源：半导体研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。