中国科学院机构知识库网格系统: 用于碳化硅生长的高温装置及方法

中国科学院机构知识库网格

Chinese Academy of Sciences Institutional Repositories Grid

用于碳化硅生长的高温装置及方法

文献类型：专利


作者	刘兴昉 ; 刘斌 ; 闫果果 ; 刘胜北 ; 田丽欣 ; 申占伟 ; 王雷 ; 赵万顺 ; 张峰 ; 孙国胜 ; 曾一平
专利国别	中国
专利类型	发明
权利人	中国科学院半导体所
学科主题	半导体材料
公开日期	2016-09-28
申请日期	2015-01-08
专利申请号	CN201510008972.X
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27619]
专题	半导体研究所_中科院半导体材料科学重点实验室
推荐引用方式 GB/T 7714	刘兴昉,刘斌,闫果果,等. 用于碳化硅生长的高温装置及方法.

入库方式： OAI收割

来源：半导体研究所

浏览0

下载0

收藏0

其他版本

除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。