非传统微纳米加工技术在微米阵列制备中的应用
文献类型：学位论文
| 作者 | 柯曦 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2013-04 |
| 授予单位 | 中国科学院研究生院 |
| 授予地点 | 中国科学院长春应用化学研究所 |
| 导师 | 唐纪琳 |
| 关键词 | 软刻蚀技术 “蘸笔”纳米加工技术 微米阵列 |
| 中文摘要 | 微纳米加工技术在微电子、化学与生物传感、微流控、微机电系统以及生物芯片等领域中有着广泛的应用。与光刻技术、电子束刻蚀技术等传统微纳米加工技术相比，软刻蚀技术和基于原子力显微镜的纳米加工技术等非传统微纳米加工技术不仅能够简单、快速、有效地制备各种材料的微纳米阵列，而且成本低廉，不需要复杂而昂贵的微纳米加工设备和苛刻的加工环境，具有广阔的应用前景。本论文利用软刻蚀技术和“蘸笔”纳米加工技术制备了各种功能材料的微米阵列，取得的主要成果如下： 1. 应用微接触印刷技术制备银纳米结构阵列 结合微接触印刷技术、电化学沉积技术与置换反应，在金基底上制备了银纳米结构阵列，此阵列可以用作表面增强拉曼散射（SERS）活性基底，以罗丹明6G为探针分子，发现该阵列具有较高的增强活性和良好的可重复性。这种微米阵列的制备过程简单，成本低廉，为SERS活性基底的制备提供了一种新的途径。2. 应用微接触印刷技术制备聚二甲... |
| 英文摘要 | Micro-nanofabrication technologies have been widely applied in various fields such as microelectronics, chemical and biological sensors, microfluidics, micro-electro-mechanical system and biochip. In comparison with conventional micro-nanofabrication technologies such as photolithography and electron beam lithography, unconventional micro-nanofabrication technologies, including soft lithography and atomic force microscopy-based nanofabrication, can fabricate micro-nanoscale arrays of various materials in an easy, fast and effective manner. Without the necessities of complex and expensive equipments and rigorous environment, they are low-cost technologies which have wonderful applied foreground. In this Ph.D. dissertation, soft lithography and “dip-pen” nanolithography were employed to fabr... |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ciac.jl.cn/handle/322003/77455]  |
| 专题 | 长春应用化学研究所_长春应用化学研究所知识产出_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 柯曦. 非传统微纳米加工技术在微米阵列制备中的应用[D]. 中国科学院长春应用化学研究所. 中国科学院研究生院. 2013. |
入库方式： OAI收割
来源：长春应用化学研究所
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