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多弧离子镀制备TiSiN涂层的结构及其摩擦学行为

文献类型:期刊论文

作者姚懿容 ; 李金龙 ; 朱丽慧 ; 王永欣 ; 叶育伟 ; 牛瑞丽
刊名中国表面工程
出版日期2015
卷号28期号:135页码:20-27
关键词TiSiN涂层 多弧离子镀 海水 摩擦学性能
ISSN号1007-9289
中文摘要为了研究Si含量对TiSiN涂层性能的影响,采用多弧离子镀技术在Ti6Al4V表面制备了不同Si含量(质量分数)的TiSiN涂层。利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、电子能谱仪(EDS)、X射线光电子能谱仪(XPS)纳米压痕仪、摩擦磨损试验机表征其表面形貌、成分,力学性能及摩擦学性能。结果表明:随着靶材中Si含量的增加,涂层硬度从35GPa增加到42GPa。在TiSiN涂层中Si元素主要以Si3N4非晶态存在,形成了非晶Si3N4包裹TiN纳米晶结构。当靶材中Si含量为8%时,涂层在海水中的磨损率约为2.1×10-6 mm3/(N·m),此时涂层的摩擦性能最好。
公开日期2016-09-18
源URL[http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/12177]  
专题宁波材料技术与工程研究所_2015专题
推荐引用方式
GB/T 7714
姚懿容,李金龙,朱丽慧,等. 多弧离子镀制备TiSiN涂层的结构及其摩擦学行为[J]. 中国表面工程,2015,28(135):20-27.
APA 姚懿容,李金龙,朱丽慧,王永欣,叶育伟,&牛瑞丽.(2015).多弧离子镀制备TiSiN涂层的结构及其摩擦学行为.中国表面工程,28(135),20-27.
MLA 姚懿容,et al."多弧离子镀制备TiSiN涂层的结构及其摩擦学行为".中国表面工程 28.135(2015):20-27.

入库方式: OAI收割

来源:宁波材料技术与工程研究所

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