Uniform Growth of Nano-crystalline Diamond Thin Films by DC-glow Discharge CVD
文献类型：期刊论文
| 作者 | You Zhiheng ; Man Weidong ; Lv Jilei ; Yang Shuo ; He Lian ; Xu Qunfeng ; Bai Hua ; Jiang Nan |
| 刊名 | Journal of Synthetic Crystals
 |
| 出版日期 | 2015 |
| 卷号 | 44期号:10页码:2746-2750 |
| 中文摘要 | 采用直流辉光放电化学气相沉积设备,以H_2 /CH_4 /Ar混合气体为工作气体,在2英寸硅片沉积出了晶粒尺寸为20 ~ 40 nm的纳米金刚石薄膜 |
| 公开日期 | 2016-09-18 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/12678]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_2015专题 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | You Zhiheng,Man Weidong,Lv Jilei,et al. Uniform Growth of Nano-crystalline Diamond Thin Films by DC-glow Discharge CVD[J]. Journal of Synthetic Crystals,2015,44(10):2746-2750. |
| APA | You Zhiheng.,Man Weidong.,Lv Jilei.,Yang Shuo.,He Lian.,...&Jiang Nan.(2015).Uniform Growth of Nano-crystalline Diamond Thin Films by DC-glow Discharge CVD.Journal of Synthetic Crystals,44(10),2746-2750. |
| MLA | You Zhiheng,et al."Uniform Growth of Nano-crystalline Diamond Thin Films by DC-glow Discharge CVD".Journal of Synthetic Crystals 44.10(2015):2746-2750. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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