Effect of Argon Addition on Single Crystal Diamond Synthesized by Microwave Plasma CVD
文献类型：期刊论文
| 作者 | Lin Xiaoqi ; Man Weidong ; Lv Jilei ; Zhang Wei ; Jiang Nan |
| 刊名 | Journal of Synthetic Crystals
 |
| 出版日期 | 2015 |
| 卷号 | 44期号:2页码:337-341 |
| 中文摘要 | 采用自主研发的5 k W不锈钢谐振腔式MPCVD设备,在Ar/H_2/CH_4气氛下,保持总气压与CH_4气流量不变,研究了不同Ar/H_2比例对单晶金刚石生长速度和晶体质量的影响 |
| 公开日期 | 2016-09-18 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/12692]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_2015专题 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Lin Xiaoqi,Man Weidong,Lv Jilei,et al. Effect of Argon Addition on Single Crystal Diamond Synthesized by Microwave Plasma CVD[J]. Journal of Synthetic Crystals,2015,44(2):337-341. |
| APA | Lin Xiaoqi,Man Weidong,Lv Jilei,Zhang Wei,&Jiang Nan.(2015).Effect of Argon Addition on Single Crystal Diamond Synthesized by Microwave Plasma CVD.Journal of Synthetic Crystals,44(2),337-341. |
| MLA | Lin Xiaoqi,et al."Effect of Argon Addition on Single Crystal Diamond Synthesized by Microwave Plasma CVD".Journal of Synthetic Crystals 44.2(2015):337-341. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
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