磁控溅射-热处理两步法制备Cr_2AlC涂层及力学性能
文献类型：期刊论文
| 作者 | 刘培 ; 王振玉 ; 柯培玲 ; 李晓伟 ; 吴晓春 ; 汪爱英 |
| 刊名 | 中国表面工程
 |
| 出版日期 | 2016 |
| 卷号 | 29期号:136页码:64-72 |
| 关键词 | 直流磁控溅射 Cr2AlC涂层 高温退火 力学性能 相结构 |
| ISSN号 | 1007-9289 |
| 中文摘要 | Cr_2AlC属于三元层状化合物MAX相,其兼具金属和陶瓷的综合性能,如金属的导热、导电、可加工性,陶瓷的抗氧化、耐腐蚀等性能。利用直流磁控溅射技术和后续退火工艺在高速钢基体上制备了Cr_2AlC涂层,采用XRD、SEM等研究了气体流量及热处理工艺对涂层成分和物相组成的影响。结果表明:气体流量和退火温度对Cr_2AlC相的形成至关重要,气体流量比过大和退火温度过高均不利于Cr_2AlC的形成。不同气体流量下沉积态涂层主要由Cr-C化合物、非晶或者纳米晶等组成,均没有发现Cr_2AlC相;涂层经750℃退火后不同气体流量比涂层均有一定量Cr_2AlC相形成;且Cr_2AlC相形成的温度范围随CH_4/Ar气体流量比增加而变窄。含Cr_2AlC MAX相涂层的硬度为10.6~17.6GPa,弹性模量为255.3~323.4GPa。 |
| 公开日期 | 2016-09-18 |
| 源URL | [http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/12089]  |
| 专题 | 宁波材料技术与工程研究所_2016专题 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘培,王振玉,柯培玲,等. 磁控溅射-热处理两步法制备Cr_2AlC涂层及力学性能[J]. 中国表面工程,2016,29(136):64-72. |
| APA | 刘培,王振玉,柯培玲,李晓伟,吴晓春,&汪爱英.(2016).磁控溅射-热处理两步法制备Cr_2AlC涂层及力学性能.中国表面工程,29(136),64-72. |
| MLA | 刘培,et al."磁控溅射-热处理两步法制备Cr_2AlC涂层及力学性能".中国表面工程 29.136(2016):64-72. |
入库方式： OAI收割
来源：宁波材料技术与工程研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。