静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究
文献类型：学位论文
| 作者 | 谢波 |
| 学位类别 | 博士 |
| 答辩日期 | 2016-05-21 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 授予地点 | 北京 |
| 导师 | 王军波 |
| 关键词 | 谐振式压力传感器 静电激励/电容检测 阳极键合真空封装 SOI通孔引线 Au电极无掩膜制作 温度自补偿 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 学科主题 | 传感器 |
| 公开日期 | 2016-06-04 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/10748]  |
| 专题 | 电子学研究所_电子所博硕士学位论文_电子所博硕士学位论文_学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 谢波. 静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究[D]. 北京. 中国科学院大学. 2016. |
入库方式： OAI收割
来源：电子学研究所
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