中国科学院机构知识库网格系统: 一种MOCVD设备中的石墨盘

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一种MOCVD设备中的石墨盘

文献类型：专利


作者	胡强 ; 李晋闽 ; 王军喜 ; 曾一平 ; 路红喜 ; 伊晓燕 ; 马平 ; 魏同波 ; 闫建昌 ; 纪攀峰
专利国别	中国
专利类型	发明
权利人	中国科学院半导体所
学科主题	半导体器件
公开日期	2016-10-25
申请日期	2014-11-06
专利申请号	CN201410641935.8
源URL	[http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/27654]
专题	半导体研究所_中科院半导体照明研发中心
推荐引用方式 GB/T 7714	胡强,李晋闽,王军喜,等. 一种MOCVD设备中的石墨盘.

入库方式： OAI收割

来源：半导体研究所

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