平面行星系统修正挡板校正膜厚均匀性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郭春; 孔明东; 柳存定; 李斌成 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 33期号:2页码:0231002-1-5 |
| 关键词 | 薄膜 光学镀膜 厚度均匀性 修正挡板 行星系统 |
| 通讯作者 | 郭春 |
| 中文摘要 | 分别建立了真空镀膜机行星系统中平面光学元件薄膜厚度模型和修正挡板校正薄膜厚度非均匀性模型,并运用数值计算方法完成修正挡板优化设计;研究了使用修正挡板校正薄膜厚度分布时平面行星夹具上热蒸发薄膜材料的沉积效率。实验结果表明:依据修正挡板校正薄膜厚度非均匀性模型优化设计的修正挡板能使口径为310mm、无倾斜放置的平面行星夹具上,由电子束热蒸发工艺制备的MgF2薄膜厚度均匀性优于99.6%,并且热蒸发MgF2薄膜材料的沉积效率高于87.4%。 |
| 收录类别 | Ei |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6611]  |
| 专题 | 光电技术研究所_薄膜光学技术研究室（十一室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郭春,孔明东,柳存定,等. 平面行星系统修正挡板校正膜厚均匀性[J]. 光学学报,2013,33(2):0231002-1-5. |
| APA | 郭春,孔明东,柳存定,&李斌成.(2013).平面行星系统修正挡板校正膜厚均匀性.光学学报,33(2),0231002-1-5. |
| MLA | 郭春,et al."平面行星系统修正挡板校正膜厚均匀性".光学学报 33.2(2013):0231002-1-5. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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