离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李定; 熊胜明 |
| 刊名 | 中国激光
 |
| 出版日期 | 2015 |
| 卷号 | 42期号:1页码:227-231 |
| 关键词 | 薄膜 氧化物薄膜 离子束溅射 中红外 水吸收 |
| 通讯作者 | 李定 |
| 中文摘要 | 以离子束溅射沉积(IBSD)方法制备了Al2O3、Nb2O5单层膜,用红外可变角度光谱椭圆偏振仪(IR-VASE)测试了薄膜的光学常数。用原子力显微镜(AFM)测量了单层膜的表面形貌及表面粗糙度,计算了单个表面的总积分散射(TIS)。以Nb2O5和Al2O3为高低折射率材料设计并制备了2.7μm高反射膜。最后对单层膜进行了环境实验检测。结果表明,制备的薄膜在中红外波段具有高的折射率和低的消光系数,光滑的表面特性和极低的表面散射损耗;在2.7μm波段没有发现由于水吸收导致的消光系数的增大;制备的反射膜在2.7μm反射率达到了99.63%,接近于理论计算值。薄膜顺利通过了一系列环境实验,显示其优良... |
| 收录类别 | Ei |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6645]  |
| 专题 | 光电技术研究所_薄膜光学技术研究室（十一室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李定,熊胜明. 离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性[J]. 中国激光,2015,42(1):227-231. |
| APA | 李定,&熊胜明.(2015).离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性.中国激光,42(1),227-231. |
| MLA | 李定,et al."离子束溅射氧化物薄膜的中红外特性".中国激光 42.1(2015):227-231. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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