干涉空间相位光刻对准方法研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 马平; 胡松; 周绍林; 徐文祥 |
| 刊名 | 激光与红外
 |
| 出版日期 | 2010 |
| 卷号 | 40期号:7页码:748-751 |
| 通讯作者 | 马平 |
| 中文摘要 | 分析讨论了光学系统热补偿设计的几种方式,并基于衍射光学元件特殊的热差特性,将衍射元件应用于非制冷红外双焦光学系统实现光学被动热补偿。ZEMAX光学设计软件分析结果表明,该系统在规定温度范围内成像良好,温度对双焦光学系统的影响不大。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7238]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 作者单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马平,胡松,周绍林,等. 干涉空间相位光刻对准方法研究[J]. 激光与红外,2010,40(7):748-751. |
| APA | 马平,胡松,周绍林,&徐文祥.(2010).干涉空间相位光刻对准方法研究.激光与红外,40(7),748-751. |
| MLA | 马平,et al."干涉空间相位光刻对准方法研究".激光与红外 40.7(2010):748-751. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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