用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 胡博; 唐小萍; 胡松; 胡志成 |
| 刊名 | 压电与声光
 |
| 出版日期 | 2013 |
| 期号 | 1页码:94-97 |
| 关键词 | 压电陶瓷 驱动器 高压运放 高精度 仿真分析 |
| 通讯作者 | 胡博 |
| 中文摘要 | 为了提高大数值孔径投影物镜成像质量,需对镜片进行高精度微调。压电陶瓷是一种高精度定位的执行元件。根据电压控制型压电陶瓷驱动电源的原理,利用运算放大器PA88和OPA2227构成的高压运放式复合放大电路,设计了一种高精度的压电陶瓷驱动器,用于驱动镜片的精密微调。详细阐述了驱动器和供电电源的设计原理,并运用Multisim10软件对该驱动器的输出电压、线性度、静态纹波及稳定性进行了仿真分析。结果表明,该驱动器具有输出精度高,最大非线性误差为0.000 5%,静态纹波小(±100nV),稳定性强等优点,达到了投影物镜中镜片微调要求。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7266]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院研究生院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡博,唐小萍,胡松,等. 用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计[J]. 压电与声光,2013(1):94-97. |
| APA | 胡博,唐小萍,胡松,&胡志成.(2013).用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计.压电与声光(1),94-97. |
| MLA | 胡博,et al."用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计".压电与声光 .1(2013):94-97. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。