光刻机外型设计新理念
文献类型：期刊论文
| 作者 | 蒋薇; 赵立新 |
| 刊名 | 现代科学仪器
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| 出版日期 | 2013 |
| 期号 | 1页码:41-43 |
| 关键词 | 光刻机 形态 色彩 材质 人机工程学 技术经济性 绿色设计 |
| 通讯作者 | 蒋薇 |
| 中文摘要 | 光刻机是微纳器件的重要加工设备之一,推动着电子工业的不断发展。研发人员在设计过程中首要关注的是其功能的多样性、可靠性、实用性以及设备的经济性等方面。与其主要强调功能相比,外型设计往往容易被忽视,而良好的外型对用户的使用和感官意义重大。光刻机外型主要包括形态、色彩、材质、人机工程学、技术经济性以及绿色设计等方面,文章对此展开全面分析,提出了一套可行的光刻机外型设计理念。为光刻机外型设计指明了方向。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7267]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 作者单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蒋薇,赵立新. 光刻机外型设计新理念[J]. 现代科学仪器,2013(1):41-43. |
| APA | 蒋薇,&赵立新.(2013).光刻机外型设计新理念.现代科学仪器(1),41-43. |
| MLA | 蒋薇,et al."光刻机外型设计新理念".现代科学仪器 .1(2013):41-43. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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