长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜
文献类型：期刊论文
| 作者 | 王仲勋; 潘一鸣; 尹韶云; 邓启凌; 史立芳; 杜春雷; 吴钦章 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 33期号:2页码:198-202 |
| 关键词 | 光学制造 长焦深 高分辨 激光加工 衍射元件 |
| 通讯作者 | 王仲勋 |
| 中文摘要 | 受限于传统激光加工透镜焦深与焦斑大小的矛盾关系,分辨率与加工深度很难同时获得提升。提出一种通过对不同焦距的菲涅耳透镜相位采样组合形成长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜的设计方法。针对10.6μm的激光加工波长,采用自编的程序设计了一个通光口径为11mm、中心焦距为47mm的激光纸张打孔透镜,并开展了相应的实验加工与测试。结果表明,该透镜与具有相同口径和焦距的传统透镜相比,焦深增加了2倍,并且在整个焦深范围内焦斑尺寸保持着与普通透镜相近的分辨率。该透镜实现简单,为大深度、高分辨的激光加工提供了可行的途径,在激光加工领域有较好的应用前景。 |
| 收录类别 | Ei |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7269]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王仲勋,潘一鸣,尹韶云,等. 长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜[J]. 光学学报,2013,33(2):198-202. |
| APA | 王仲勋.,潘一鸣.,尹韶云.,邓启凌.,史立芳.,...&吴钦章.(2013).长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜.光学学报,33(2),198-202. |
| MLA | 王仲勋,et al."长焦深、高分辨激光加工聚焦透镜".光学学报 33.2(2013):198-202. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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