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基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法

文献类型:期刊论文

作者冯金花; 胡松; 李艳丽; 何渝
刊名光学学报
出版日期2015
卷号35期号:2页码:202-207
关键词测量 纳米检焦 相位解析 光弹调制 横向剪切板
通讯作者冯金花
中文摘要随着光刻机分辨力节点的提高,纳米级的高精度检焦技术变得愈发重要。针对投影光刻的特点,介绍了一种基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法。此方法基于三角法测量原理,通过光弹调制器和横向剪切板的光学调制、平行平板的相位调整,硅片位移的变化会引起调制光强发生正余弦变化。根据光强的正余弦变化,求出焦面位移量。经实验与数据分析,该方法具有纳米级的检焦精度,且具有实时性强、非接触等特点,能满足100 nm投影光刻中焦面检测的需要。
收录类别Ei
语种中文
源URL[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7342]  
专题光电技术研究所_微电子装备总体研究室(四室)
作者单位中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
冯金花,胡松,李艳丽,等. 基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法[J]. 光学学报,2015,35(2):202-207.
APA 冯金花,胡松,李艳丽,&何渝.(2015).基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法.光学学报,35(2),202-207.
MLA 冯金花,et al."基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法".光学学报 35.2(2015):202-207.

入库方式: OAI收割

来源:光电技术研究所

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