基于线阵CCD的高速光刻检焦技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈昌龙; 邸成良; 唐小萍; 胡松 |
| 刊名 | 红外与激光工程
 |
| 出版日期 | 2015 |
| 卷号 | 44期号:8页码:2389-2394 |
| 关键词 | 光刻 检焦 FPGA 线阵CCD |
| 通讯作者 | 陈昌龙 |
| 中文摘要 | 随着光学投影光刻分辨力的提高,投影物镜的焦深在逐渐缩短。为充分利用物镜有限的焦深,一般采用调焦技术来调整硅片位置。作为调焦的关键,检焦技术的研究尤为热门。现有的检焦方法多采用四象限探测器或者面阵CCD采集携带有硅片离焦量信息的光强信号,并在计算机上进行图像处理完成检焦。该方法处理速度慢,难以满足实时调焦的要求。鉴于此,提出了一种用线阵CCD采集图像,以FPGA为处理器的检焦方法。该方法利用线阵CCD的高速性和FPGA的并行性,结合多项式插值的亚像素边缘检测算法,能够高速实时检测硅片离焦量;同时,FPGA通过驱动电机控制工件台运动对离焦量进行补偿,形成一个实时闭环的调焦系统,减少了原有的计算机环... |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7351]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈昌龙,邸成良,唐小萍,等. 基于线阵CCD的高速光刻检焦技术[J]. 红外与激光工程,2015,44(8):2389-2394. |
| APA | 陈昌龙,邸成良,唐小萍,&胡松.(2015).基于线阵CCD的高速光刻检焦技术.红外与激光工程,44(8),2389-2394. |
| MLA | 陈昌龙,et al."基于线阵CCD的高速光刻检焦技术".红外与激光工程 44.8(2015):2389-2394. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。