MEMS二维静电驱动扫描镜设计和分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 马文英; 姚军; 任豪; 王大甲 |
| 刊名 | 微纳电子技术
 |
| 出版日期 | 2009 |
| 卷号 | 46期号:5页码:296-300 |
| 通讯作者 | 马文英 |
| 中文摘要 | 给出了一种静电驱动二维微扫描镜的设计和制造方案,所设计的扫描镜具有绕X轴和y轴转动的两个自由度,并具有体积小、功耗低、频率高等优点.推导了镜面旋转角表达式并分析了吸合效应.利用POLYMUMPS工艺完成了对扫描镜的加工 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6705]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| 作者单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 马文英,姚军,任豪,等. MEMS二维静电驱动扫描镜设计和分析[J]. 微纳电子技术,2009,46(5):296-300. |
| APA | 马文英,姚军,任豪,&王大甲.(2009).MEMS二维静电驱动扫描镜设计和分析.微纳电子技术,46(5),296-300. |
| MLA | 马文英,et al."MEMS二维静电驱动扫描镜设计和分析".微纳电子技术 46.5(2009):296-300. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。