A MEMS micromirror driven by electrostatic force
文献类型：期刊论文
| 作者 | Hu Fangrong; Yao Jun; Qiu Chuankai; Ren Hao |
| 刊名 | Journal of Electrostatics
 |
| 出版日期 | 2010 |
| 卷号 | 68期号:3页码:237-242 |
| 通讯作者 | Hu Fangrong |
| 语种 | 英语 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6711]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| 作者单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | Hu Fangrong,Yao Jun,Qiu Chuankai,et al. A MEMS micromirror driven by electrostatic force[J]. Journal of Electrostatics,2010,68(3):237-242. |
| APA | Hu Fangrong,Yao Jun,Qiu Chuankai,&Ren Hao.(2010).A MEMS micromirror driven by electrostatic force.Journal of Electrostatics,68(3),237-242. |
| MLA | Hu Fangrong,et al."A MEMS micromirror driven by electrostatic force".Journal of Electrostatics 68.3(2010):237-242. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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