新型静电驱动双向平动MEMS变形镜（英文）
文献类型：期刊论文
| 作者 | 姚军; 陶逢刚; 任豪等 |
| 刊名 | 纳米技术与精密工程
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 10期号:4页码:313-317 |
| 关键词 | 双向平动 MEMS 变形镜 杠杆驱动器 |
| 通讯作者 | 姚军 |
| 中文摘要 | 设计了一种新型静电驱动双向平动的MEMS变形镜,其结构包括3部分：中央下电极,4个静电驱动杠杆结构以及反射镜面（上电极）.该变形镜有两种驱动模式：向下驱动模式和向上驱动模式.在向上驱动时,4个杠杆结构实现了位移的放大;向下驱动时,利用了非线性弹性系数法扩展了镜面的平动范围.采用表面硅工艺完成了变形镜的加工.通过白光干涉仪对变形镜的测试表明：在向上驱动模式下,变形镜在驱动电压为31;V时位移达到1.1μm;在向下驱动模式下,变形镜在6;V的驱动电压下位移达到1.1μm.变形镜的总行程为2.2μm,达到了同样工艺下传统变形镜的3倍左右. |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6782]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,成都610209 2.[2]中国科学院研究生院,北京100039 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 姚军,陶逢刚,任豪等. 新型静电驱动双向平动MEMS变形镜（英文）[J]. 纳米技术与精密工程,2012,10(4):313-317. |
| APA | 姚军,陶逢刚,&任豪等.(2012).新型静电驱动双向平动MEMS变形镜（英文）.纳米技术与精密工程,10(4),313-317. |
| MLA | 姚军,et al."新型静电驱动双向平动MEMS变形镜（英文）".纳米技术与精密工程 10.4(2012):313-317. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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