多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 李慧; 闫连山; 潘炜; 罗斌; 温坤华; 郭振 |
| 刊名 | 激光与光电子学进展
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 49期号:1页码:152-155 |
| 关键词 | 薄膜 表面等离子 亚波长结构 多层膜设计 |
| 通讯作者 | 李慧 |
| 中文摘要 | 结合等离子金属光栅原理和多层膜理论，提出－种金属－介质－金属多层光栅结构以增强透射光的聚焦效应。利用时域有限差分（FDTD）法对该多层结构的聚焦特性进行模拟仿真，得到多层结构的聚焦特性随金属－介质膜层数和凹槽数目的变化特性。结果表明，通过控制金属一介质层层数或者凹槽数目，焦距明显改善，焦距可达9．15μm，最大焦深约为26．38μm，相对于传统金属光栅，聚焦效应得到了明显增强。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6786]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| 作者单位 | 1.西南交通大学信息科学与技术学院信息光子与通信研究中心,四川成都610031 2.中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室,四川成都610029 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李慧,闫连山,潘炜,等. 多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性[J]. 激光与光电子学进展,2012,49(1):152-155. |
| APA | 李慧,闫连山,潘炜,罗斌,温坤华,&郭振.(2012).多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性.激光与光电子学进展,49(1),152-155. |
| MLA | 李慧,et al."多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性".激光与光电子学进展 49.1(2012):152-155. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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