金属网格与金属谐振环复合结构的太赫兹透过特性
文献类型：期刊论文
| 作者 | 熊伟; 姚军; 李伟; 沈京玲 |
| 刊名 | 光电工程
 |
| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 40期号:3页码:146-150 |
| 关键词 | 太赫兹 人工电磁材料 微机电系统 |
| 通讯作者 | 熊伟 |
| 中文摘要 | 本文根据SOI(Silicon-on-insulator)材料在太赫兹波段不透过太赫兹的特点,提出一种加工基于微机电系统(MEMS)可调谐太赫兹器件的新方案,并设计出与梳齿驱动加工工艺十分兼容的金属结构。此结构由金属网格和金属谐振环阵列复合构成,静态的测试表明结构在太赫兹波段显出带通滤波的特性,通过改变两个元件之间的位置,能够实现0.410.53THz带通调谐。此结构加工方法简单,加工过程中只需要一块掩膜版,并且金属结构在MEMS梳齿结构释放之前就已经光刻形成,不需要两个图形的对准工艺,同时也避免了后续光刻对加工好MEMS梳齿结构的破坏。金属网格和金属谐振环构成的复合结构为微机电系统(MEMS... |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6811]  |
| 专题 | 光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室（开放室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室 2.电子科技大学光电信息学院 3.首都师范大学物理系 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊伟,姚军,李伟,等. 金属网格与金属谐振环复合结构的太赫兹透过特性[J]. 光电工程,2013,40(3):146-150. |
| APA | 熊伟,姚军,李伟,&沈京玲.(2013).金属网格与金属谐振环复合结构的太赫兹透过特性.光电工程,40(3),146-150. |
| MLA | 熊伟,et al."金属网格与金属谐振环复合结构的太赫兹透过特性".光电工程 40.3(2013):146-150. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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