衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化
文献类型:期刊论文
作者 | 刘志辉; 石振东; 杨欢; 李国俊; 方亮; 周崇喜 |
刊名 | 红外与激光工程
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出版日期 | 2014 |
卷号 | 43期号:7页码:2092-2096 |
关键词 | 光束匀化 衍射光学 半导体激光器 微透镜阵列 |
通讯作者 | 刘志辉 |
中文摘要 | 提出了一种用衍射微透镜阵列对半导体激光光束进行匀化的方法,解决了折射型微透镜阵列难于实现高填充因子、高精度面型的难题。基于标量衍射理论,设计了具有多阶相位结构的衍射微透镜阵列。采用菲涅耳衍射公式,推导了半导体激光从输入面到输出面的光场计算公式。数值模拟了成像型微透镜阵列匀化系统,并研究了微透镜口径及相位台阶数对焦斑均匀性的影响。结果表明:当衍射微透镜的口径D=0.27 mm、相位台阶数L=16时,可获得不均匀性约为±5%、系统能量可利用率达97%的均匀焦斑。 |
收录类别 | Ei |
语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6872] ![]() |
专题 | 光电技术研究所_微细加工光学技术国家重点实验室(开放室) |
作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院大学 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘志辉,石振东,杨欢,等. 衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化[J]. 红外与激光工程,2014,43(7):2092-2096. |
APA | 刘志辉,石振东,杨欢,李国俊,方亮,&周崇喜.(2014).衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化.红外与激光工程,43(7),2092-2096. |
MLA | 刘志辉,et al."衍射微透镜阵列用于半导体激光光束匀化".红外与激光工程 43.7(2014):2092-2096. |
入库方式: OAI收割
来源:光电技术研究所
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