基于条纹反射的光学表面疵病检测法
文献类型:期刊论文
作者 | 赵文川; 钟显云; 刘彬 |
刊名 | 光子学报
![]() |
出版日期 | 2014 |
卷号 | 43期号:9页码:167-171 |
关键词 | 光学检测 表面检测 条纹反射 光学表面疵病 条纹处理 |
通讯作者 | 赵文川 |
中文摘要 | 提出一种基于条纹反射的光学表面疵病检测方法,检测系统由液晶显示屏、CCD相机和计算机组成.检测时在显示屏上分别显示水平和垂直两个方向正交的正弦性条纹,用CCD相机记录经被测表面反射的正弦条纹像,通过相移技术得到两个方向正交的相位分布和对比度分布,通过对比度分布确定被测表面的疵病位置.被测面表面面形相关信息包含在相位分布中,其表面疵病细节信息包含在局部微观相位分布之中.对相位分布进行多项式拟合后相减得到疵病引起的微观相位分布,计算得到表面疵病的梯度分布,积分得其高度分布.实验验证了该方法的可行性. |
语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7027] ![]() |
专题 | 光电技术研究所_先光中心 |
作者单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵文川,钟显云,刘彬. 基于条纹反射的光学表面疵病检测法[J]. 光子学报,2014,43(9):167-171. |
APA | 赵文川,钟显云,&刘彬.(2014).基于条纹反射的光学表面疵病检测法.光子学报,43(9),167-171. |
MLA | 赵文川,et al."基于条纹反射的光学表面疵病检测法".光子学报 43.9(2014):167-171. |
入库方式: OAI收割
来源:光电技术研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。