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基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析

文献类型:期刊论文

作者徐燕; 吴永前; 李世芳; 万勇建; 侯溪
刊名光电工程
出版日期2015
卷号42期号:2页码:84-88
关键词环形光源 相干噪声 误差分析
通讯作者徐燕
中文摘要目前影响高精度干涉仪测量精度的一个重要因素是系统的相干噪声,为了提高干涉检测精度,必须抑制系统的相干噪声。环形光源作为一种抑制相干噪声的有效手段已被广泛应用工程实践。本文利用Zemax干涉仪建模分析了环形光源不同环半径对干涉测量精度影响,并分析了在一定环半径下,随着干涉腔长的增加,对干涉测量结果的影响。仿真分析结果表明,随着环形光源环半径的增加,干涉测量结果的系统误差增大,在同一环半径下,随着干涉腔长的增加,干涉测量的系统误差增大。
语种中文
源URL[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7038]  
专题光电技术研究所_先光中心
作者单位中国科学院光电技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
徐燕,吴永前,李世芳,等. 基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析[J]. 光电工程,2015,42(2):84-88.
APA 徐燕,吴永前,李世芳,万勇建,&侯溪.(2015).基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析.光电工程,42(2),84-88.
MLA 徐燕,et al."基于Zemax干涉仪建模的环形光源误差分析".光电工程 42.2(2015):84-88.

入库方式: OAI收割

来源:光电技术研究所

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