用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 冯婕; 邓超; 邢廷文 |
| 刊名 | 激光与光电子学进展
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 49期号:11页码:67-72 |
| 关键词 | 全息术 非球面检测 计算全息图 光学设计 误差分析 |
| 通讯作者 | 冯婕 |
| 中文摘要 | 为实现非球面元件表面面形的高精度检测，提出并设计了一种兼具相位补偿、装调计算全息图（CGH）和待测非球面的多功能计算全息图。多功能计算全息图由主全息、对准全息和基准全息3部分组成。介绍了各部分的工作原理及其设计方法，比较了辅助全息装调方法和普通装调方法的优劣，并给出了检测西187．72mm、F数为1．71的凹非球面镜的计算全息设计实例，分析了影响全息检测精度的各项误差源，计算得出所设计的计算全息的检测精度可达4．74nm，实现了非球面元件面形的高精度检测。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4239]  |
| 专题 | 光电技术研究所_应用光学研究室（二室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所应用光学实验室,四川成都610209 2.中国科学院大学,北京100048 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯婕,邓超,邢廷文. 用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析[J]. 激光与光电子学进展,2012,49(11):67-72. |
| APA | 冯婕,邓超,&邢廷文.(2012).用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析.激光与光电子学进展,49(11),67-72. |
| MLA | 冯婕,et al."用于凹非球面的计算全息设计及其误差分析".激光与光电子学进展 49.11(2012):67-72. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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