可见光三维针孔形状误差矢量衍射分析
文献类型：期刊论文
| 作者 | 许嘉俊; 邢廷文 |
| 刊名 | 光电工程
 |
| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 40期号:2页码:64-70 |
| 关键词 | 光学检测 点衍射干涉仪 矢量衍射 波前分析 |
| 通讯作者 | 许嘉俊 |
| 中文摘要 | 干涉仪是光学元件面形加工中必不可少的检测设备,其检测精度限制了光学面形的加工精度。点衍射干涉仪利用亚微米量级的针孔衍射产生参考波,理论上的检测精度能够达到纳米及纳米以下。基于有限元方法,计算了300～400nm直径针孔,在膜层厚度300nm时,存在不同形状误差时,衍射参考波前与理想波面的偏差。同时,针孔形状误差引入的衍射参考波前像差也进行了分析。针孔椭圆截面长轴为380nm,短轴为320nm时,衍射波面误差约为0.9e-3λ。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4244]  |
| 专题 | 光电技术研究所_应用光学研究室（二室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所 应用光学实验室 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许嘉俊,邢廷文. 可见光三维针孔形状误差矢量衍射分析[J]. 光电工程,2013,40(2):64-70. |
| APA | 许嘉俊,&邢廷文.(2013).可见光三维针孔形状误差矢量衍射分析.光电工程,40(2),64-70. |
| MLA | 许嘉俊,et al."可见光三维针孔形状误差矢量衍射分析".光电工程 40.2(2013):64-70. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。