点衍射干涉仪系统误差标定
文献类型：期刊论文
| 作者 | 许嘉俊; 邢廷文; 徐富超 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2013 |
| 卷号 | 33期号:7页码:0712003-1-5 |
| 关键词 | 测量 光学检测 点衍射干涉仪 双孔干涉 误差标定 |
| 通讯作者 | 许嘉俊 |
| 中文摘要 | 点衍射干涉仪是现代超高精度面形测量中常用干涉仪,其参考波由一定尺寸针孔衍射产生,因此摆脱了参考元件面形误差对测量精度的限制,使纳米及纳米级以下精度测量成为可能。点衍射干涉仪由于其结构特点,主要的系统误差来源于针孔衍射波与理想球面波的偏差。设计了一种新的点衍射干涉仪系统误差标定结构,降低了对准难度。同时提出了利用干涉图信息计算CCD位置,去除几何结构慧差的方法。搭建了基于双孔干涉的系统误差标定系统,在针孔直径为3μm时,系统误差为0.009λ。 |
| 收录类别 | Ei |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4249]  |
| 专题 | 光电技术研究所_应用光学研究室（二室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所应用光学实验室 2.中国科学院大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 许嘉俊,邢廷文,徐富超. 点衍射干涉仪系统误差标定[J]. 光学学报,2013,33(7):0712003-1-5. |
| APA | 许嘉俊,邢廷文,&徐富超.(2013).点衍射干涉仪系统误差标定.光学学报,33(7),0712003-1-5. |
| MLA | 许嘉俊,et al."点衍射干涉仪系统误差标定".光学学报 33.7(2013):0712003-1-5. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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