衍射光学元件的加工工艺及其在各种光谱镜头中的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 程习敏; 白瑜; 谢伟民; 邢廷文; 林妩媚 |
| 刊名 | 光电技术应用
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| 出版日期 | 2014 |
| 卷号 | 29期号:2页码:31-38+65 |
| 关键词 | 衍射光学 光刻 薄膜沉积 金刚石车削 |
| 通讯作者 | 程习敏 |
| 中文摘要 | 综述了当前衍射光学元件的加工制作工艺方法,包括光刻法、薄膜沉积法、直写法、金刚石车削法、准分子激光加工法、灰阶掩模法和复制法。详细说明了这几种方法加工衍射光学元件的工艺过程,并分析了各种加工方法的优缺点。介绍了衍射光学元件在各种光谱镜头中的应用,分别给出了衍射面在可见光波段、红外波段和紫外波段系统中的具体设计实例。最后得出结论,说明衍射光学元件可以增加设计自由度,简化系统结构,减小体积,减轻质量,改善像差,提高系统成像质量。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/4255]  |
| 专题 | 光电技术研究所_应用光学研究室（二室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院光电技术研究所 2.中国科学院大学 3.电子科技大学光电信息学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 程习敏,白瑜,谢伟民,等. 衍射光学元件的加工工艺及其在各种光谱镜头中的应用[J]. 光电技术应用,2014,29(2):31-38+65. |
| APA | 程习敏,白瑜,谢伟民,邢廷文,&林妩媚.(2014).衍射光学元件的加工工艺及其在各种光谱镜头中的应用.光电技术应用,29(2),31-38+65. |
| MLA | 程习敏,et al."衍射光学元件的加工工艺及其在各种光谱镜头中的应用".光电技术应用 29.2(2014):31-38+65. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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