子孔径拼接检测光学系统波前机械定位误差补偿算法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 汪利华; 吴时彬; 任戈; 谭毅; 杨伟 |
| 刊名 | 光学学报
 |
| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 32期号:1页码:121-126 |
| 关键词 | 子孔径拼接 定位补偿 光学波前 光学测量 |
| 通讯作者 | 汪利华 |
| 中文摘要 | 为了实现大口径光学系统波前子孔径拼接干涉测量,保证子孔径采样数据准确定位,提出了子孔径拼接定位补偿算法。介绍了该算法原理,分析了该算法子孔径定位误差补偿能力。首先根据被检光学系统和子孔径口径大小规划出采样子孔径布局,在子孔径采样装置机械精度误差范围内对子孔径进行拼接,根据所求子孔径定位误差补偿系数和调整误差系数,得到被检全孔径波前,完成大口径光学系统波前的拼接检测。通过仿真验证了该算法的可行性,在机械平移定位精度为1mm和转动角定位精度为0.5°时,用该算法实验检测口径为200mm的光学系统平面波前。检测结果表明该算法稳定可靠,能有效补偿机械精度引起的子孔径定位误差,从而可放宽对机械定位精度的... |
| 收录类别 | Ei |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7061]  |
| 专题 | 光电技术研究所_质量处（质检中心） |
| 作者单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 汪利华,吴时彬,任戈,等. 子孔径拼接检测光学系统波前机械定位误差补偿算法[J]. 光学学报,2012,32(1):121-126. |
| APA | 汪利华,吴时彬,任戈,谭毅,&杨伟.(2012).子孔径拼接检测光学系统波前机械定位误差补偿算法.光学学报,32(1),121-126. |
| MLA | 汪利华,et al."子孔径拼接检测光学系统波前机械定位误差补偿算法".光学学报 32.1(2012):121-126. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。