离轴非球面镜精磨阶段的三坐标检测技术
文献类型：期刊论文
| 作者 | 林长青; 景洪伟; 匡龙; 吴时彬; 曹学东; 李杰 |
| 刊名 | 强激光与粒子束
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 24期号:11页码:2665-2668 |
| 关键词 | 离轴非球面镜 三坐标测量机 面形误差 精磨 |
| 通讯作者 | 林长青 |
| 中文摘要 | 提出了使用三坐标测量机(CMM)对离轴非球面镜进行测量的方法。通过CMM对离轴非球面镜镜面进行自动测量,获得实际面形的三维坐标数据,并与理论离轴非球面镜模型进行分析比较,得到实际镜面的面形误差值和均方根值;依据CMM的测量结果,完成了对离轴非球面镜精磨阶段的加工,解决了目前离轴非球面镜精磨阶段难于检测,以至于无法加工的问题。随着离轴非球面镜顺利进入抛光阶段,使用CMM实现了离轴非球面镜精磨检测与抛光检测的无缝对接。 |
| 收录类别 | Ei |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7067]  |
| 专题 | 光电技术研究所_质量处（质检中心） |
| 作者单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 林长青,景洪伟,匡龙,等. 离轴非球面镜精磨阶段的三坐标检测技术[J]. 强激光与粒子束,2012,24(11):2665-2668. |
| APA | 林长青,景洪伟,匡龙,吴时彬,曹学东,&李杰.(2012).离轴非球面镜精磨阶段的三坐标检测技术.强激光与粒子束,24(11),2665-2668. |
| MLA | 林长青,et al."离轴非球面镜精磨阶段的三坐标检测技术".强激光与粒子束 24.11(2012):2665-2668. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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