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基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法

文献类型:期刊论文

作者史国华; 饶学军; 丁志华; 张雨东; 姜文汉
刊名中国激光
出版日期2009
卷号36期号:s2页码:210-215
通讯作者史国华
中文摘要介绍了利用光学相干层析技术(OCT)实现光学表面间距测量的方法。通过采用近红外宽带光源,结合迈克尔逊干涉仪和外差探测技术,建立了一套光纤型光学相干层析系统,并利用这套系统实现了对盖玻片堆快速(500 Hz)、高灵敏度(6.7 μm)、高精度(约2.07 μm)、非接触式的光学表面间距测量,取得了较好的实验结果。该方法采用了光纤化的结构设计,使得系统紧凑、灵活,作为现有光学表面间距测量方法的补充,将在光学材料检测、光学加工、光学装校等领域具有良好的应用前景。
收录类别Ei
语种中文
源URL[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6144]  
专题光电技术研究所_自适应光学技术研究室(八室)
作者单位中国科学院光电技术研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
史国华,饶学军,丁志华,等. 基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法[J]. 中国激光,2009,36(s2):210-215.
APA 史国华,饶学军,丁志华,张雨东,&姜文汉.(2009).基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法.中国激光,36(s2),210-215.
MLA 史国华,et al."基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法".中国激光 36.s2(2009):210-215.

入库方式: OAI收割

来源:光电技术研究所

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