基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法
文献类型:期刊论文
作者 | 史国华; 饶学军; 丁志华; 张雨东; 姜文汉 |
刊名 | 中国激光 |
出版日期 | 2009 |
卷号 | 36期号:s2页码:210-215 |
通讯作者 | 史国华 |
中文摘要 | 介绍了利用光学相干层析技术(OCT)实现光学表面间距测量的方法。通过采用近红外宽带光源,结合迈克尔逊干涉仪和外差探测技术,建立了一套光纤型光学相干层析系统,并利用这套系统实现了对盖玻片堆快速(500 Hz)、高灵敏度(6.7 μm)、高精度(约2.07 μm)、非接触式的光学表面间距测量,取得了较好的实验结果。该方法采用了光纤化的结构设计,使得系统紧凑、灵活,作为现有光学表面间距测量方法的补充,将在光学材料检测、光学加工、光学装校等领域具有良好的应用前景。 |
收录类别 | Ei |
语种 | 中文 |
源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6144] |
专题 | 光电技术研究所_自适应光学技术研究室(八室) |
作者单位 | 中国科学院光电技术研究所 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 史国华,饶学军,丁志华,等. 基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法[J]. 中国激光,2009,36(s2):210-215. |
APA | 史国华,饶学军,丁志华,张雨东,&姜文汉.(2009).基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法.中国激光,36(s2),210-215. |
MLA | 史国华,et al."基于光学相干层析技术的光学表面间距测量方法".中国激光 36.s2(2009):210-215. |
入库方式: OAI收割
来源:光电技术研究所
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。