模糊自整定比例积分控制在空间三维纳米定位台的应用
文献类型：期刊论文
| 作者 | 舒强; 施宁平; 饶学军 |
| 刊名 | 光学技术
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| 出版日期 | 2012 |
| 卷号 | 38期号:2页码:202-207 |
| 关键词 | 压电驱动器 纳米定位 精密对准 模糊控制 |
| 通讯作者 | 舒强 |
| 中文摘要 | 介绍了一种空间三自由度纳米定位平台,其应用背景为光刻投影物镜波像差检测系统的精密对准,因此对定位精度和定位速度都提出了很高的要求。首先简要介绍了空间三维纳米定位台;然后将模糊控制同传统PI(比例积分)控制相结合,利用定位偏差和偏差变化率信息,通过模糊推理实时调整PI控制参数,并在VC++环境下实现了模糊自整定PI参数的控制算法。实验结果表明,该控制方法较常规PI控制器能够有效地提高响应速度,减小阶跃响应超调量,保证了控制的实时性。 |
| 语种 | 中文 |
| 源URL | [http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6257]  |
| 专题 | 光电技术研究所_自适应光学技术研究室（八室） |
| 作者单位 | 1.中国科学院自适应光学重点实验室 2.中国科学院光电技术研究所 3.中国科学院研究生院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 舒强,施宁平,饶学军. 模糊自整定比例积分控制在空间三维纳米定位台的应用[J]. 光学技术,2012,38(2):202-207. |
| APA | 舒强,施宁平,&饶学军.(2012).模糊自整定比例积分控制在空间三维纳米定位台的应用.光学技术,38(2),202-207. |
| MLA | 舒强,et al."模糊自整定比例积分控制在空间三维纳米定位台的应用".光学技术 38.2(2012):202-207. |
入库方式： OAI收割
来源：光电技术研究所
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