车载大口径FSM用SiC反射镜制备工艺研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 徐新行 ; 陈宁; 时魁; 庄昕宇
|
| 刊名 | 激光与红外
 |
| 出版日期 | 2015-09-20 |
| 期号 | 09页码:1093-1099 |
| 关键词 | SiC反射镜 制备工艺 面形精度 反射率 |
| 中文摘要 | 为了获得高面形精度、高反射率的轻质反射镜,选用Si C为基底材料,对反射镜的加工制备工艺进行了深入研究。首先从车载大口径FSM中平面反射镜的应用需求出发,提出了反射镜的主要设计指标。然后,针对反射镜的轻量化结构采用反应烧结法获得镜坯,并通过机械加工使其接近成型;继而采用物理气相沉积法对Si C反射镜进行表面改性处理,进而采用古典抛光法对反射镜进行光学精加工;最后在反射镜的工作表面镀覆金反射膜。在完成车载大口径FSM用Si C反射镜的加工制备后,对反射镜的面形精度和反射率进行了实验检测。结果显示:Si C反射镜的面形精度(RMS值)优于λ/30;对中波激光的反射率约为98.0%,对长波激光的反射率约为98.2%;均满足车载大口径FSM的应用需求。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53445]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 徐新行,陈宁,时魁,等. 车载大口径FSM用SiC反射镜制备工艺研究[J]. 激光与红外,2015(09):1093-1099. |
| APA | 徐新行,陈宁,时魁,&庄昕宇.(2015).车载大口径FSM用SiC反射镜制备工艺研究.激光与红外(09),1093-1099. |
| MLA | 徐新行,et al."车载大口径FSM用SiC反射镜制备工艺研究".激光与红外 .09(2015):1093-1099. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。