非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈新东 ; 李锐刚
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| 刊名 | 中国激光
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| 出版日期 | 2015-05-10 |
| 期号 | 05页码:242-248 |
| 关键词 | 光学制造 非球面检测 几何参数测量 激光跟踪仪 |
| 中文摘要 | 随着非球面反射镜口径和顶点曲率半径的增大,传统的非球面几何参数测量不能满足要求。为实现非球面几何参数的高精度测量,针对广泛应用的补偿器检测非球面光路,开展了几何参数分析和测量方法研究。将二次常数和顶点曲率半径的理论近似误差关系与Zemax仿真进行对比验证,确定了测量需求及数据复核方法;阐述了采用激光跟踪仪测量几何参数的基本原理,说明了特征转换过程及建模、数据处理方法。测量实验结果表明,对2 m量级的测量光路,顶点曲率半径的重复性测量精度±0.039 mm,二次常数的重复性精度±2.05×10-5,离轴量的重复性精度±0.055 mm。说明采用该方法能够有效实现非球面参数的测量,并具有很高的重复性测量精度,适合大口径、长曲率半径非球面的几何参数测量。该方法绝对检测精度需要进一步分析。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53561]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈新东,李锐刚. 非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究[J]. 中国激光,2015(05):242-248. |
| APA | 陈新东,&李锐刚.(2015).非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究.中国激光(05),242-248. |
| MLA | 陈新东,et al."非球面Null Lens补偿检测中采用激光跟踪仪测量几何参数方法研究".中国激光 .05(2015):242-248. |
入库方式： OAI收割
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