光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计
文献类型：期刊论文
| 作者 | 陈华男 ; 郭抗; 张玲花; 刘健; 尚红波
|
| 刊名 | 光电工程
 |
| 出版日期 | 2015-06-15 |
| 期号 | 06页码:50-56 |
| 关键词 | 光刻投影物镜 X-Y向柔性调节机构 减速机构 柔性铰链 |
| 中文摘要 | X-Y向柔性调节机构应用于光刻投影物镜中光学元件X-Y方向偏心位置补偿。基于柔性铰链,设计柔性二级减速机构,并将之应用到新型的一体式X-Y向柔性调节机构上。在对机构原理进行分析的基础上,对X-Y向柔性调节机构结构参数进行了优化设计。进一步,运用有限元分析法,分析了该X-Y向柔性调节机构的性能。分析结果表明,该机构调节行程大于±20μm,机构位移输入?输出关系稳定,传动比约11.9,理论调节精度约8.4 nm,机构单方向驱动刚度为0.473μm/N;机构开环单轴运动时,耦合误差与主运动比值为7.1%;机构1阶模态频率大于200 Hz。该X-Y向柔性调节机构能够应用到光刻投影物镜中。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53638]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈华男,郭抗,张玲花,等. 光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计[J]. 光电工程,2015(06):50-56. |
| APA | 陈华男,郭抗,张玲花,刘健,&尚红波.(2015).光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计.光电工程(06),50-56. |
| MLA | 陈华男,et al."光刻投影物镜中X-Y向柔性调节机构设计".光电工程 .06(2015):50-56. |
入库方式： OAI收割
浏览0
下载0
收藏0
其他版本
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。