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机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计

文献类型:期刊论文

作者徐新行; 王恒坤; 韩旭东; 王兵; 高云国
刊名仪器仪表学报
出版日期2015-09-15
期号09页码:1937-1944
关键词快速反射镜 位移传感器 测量光栅 增量式
中文摘要为了实现机载小型化FSM的闭环控制,设计了一款小体积、高精度、高环境适应性的微位移测量传感器。首先根据位移传感器的技术原理和机载FSM的应用需求,提出了微位移测量传感器的主要设计指标。然后,分别对微位移测量传感器的发光元件、密珠滑轨、测量光栅和接收元件等进行了详细设计与选择。其中,高精度密珠滑轨的采用不仅减小了测量过程中的附加阻力,而且使光栅副的运动更加精准;光栅副通光窗口的引入、独特零件编码的设计、裂相法信号提取方式的采用,保证了微位移测量传感器的高低温性能。最后,针对微位移测量传感器在机载小型化FSM上的应用效果进行了理论分析与实验检测。结果显示:机载小型化FSM的方位指向误差不超过3.4″,俯仰指向误差不超过3.8″,证明了专用型微位移测量传感器高精度、高分辨力和高响应速度的技术特点,满足机载小型化FSM的应用需求。
源URL[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53689]  
专题长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
徐新行,王恒坤,韩旭东,等. 机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计[J]. 仪器仪表学报,2015(09):1937-1944.
APA 徐新行,王恒坤,韩旭东,王兵,&高云国.(2015).机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计.仪器仪表学报(09),1937-1944.
MLA 徐新行,et al."机载小型化快速反射镜用微位移测量传感器设计".仪器仪表学报 .09(2015):1937-1944.

入库方式: OAI收割

来源:长春光学精密机械与物理研究所

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