精磨光学元件面形的干涉检测技术研究
文献类型：期刊论文
| 作者 | 代雷 ; 吴迪; 张健; 张春雷; 于长淞; 谷勇强
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| 刊名 | 电子测量与仪器学报
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| 出版日期 | 2015-04-15 |
| 期号 | 04页码:558-562 |
| 关键词 | 精磨检测 光学元件 干涉检测 |
| 中文摘要 | 为解决传统接触式检测方法检测精磨光学元件效率低,精度差的问题,提出了一种采用干涉检测技术对精磨光学元件面形进行测量方法,该方法具有非接触,测量效率高,误差小的特点。干涉检测中干涉条纹的对比度与工作波长成正比,与表面粗糙度成反比,干涉条纹对比度直接影响最终的检测结果。因此首先分析干涉条纹对比度与精磨表面粗糙度之间的关系,证明采用可见光干涉仪对精磨粗糙表面进行检测的可行性,并对利用GPI型数字干涉仪检测精磨粗糙表面进行了实验验证,检测面形结果约为PV 1.5μm,并与红外干涉仪以及接触式轮廓仪测量结果进行了对比,验证结果有效性。最后给出了当粗糙度阈值Rq优于150 nm时,可采用该方法进行检测,具有较高的实用价值。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53916]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 代雷,吴迪,张健,等. 精磨光学元件面形的干涉检测技术研究[J]. 电子测量与仪器学报,2015(04):558-562. |
| APA | 代雷,吴迪,张健,张春雷,于长淞,&谷勇强.(2015).精磨光学元件面形的干涉检测技术研究.电子测量与仪器学报(04),558-562. |
| MLA | 代雷,et al."精磨光学元件面形的干涉检测技术研究".电子测量与仪器学报 .04(2015):558-562. |
入库方式： OAI收割
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