绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法
文献类型：期刊论文
| 作者 | 郑黎明
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| 刊名 | 机电产品开发与创新
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| 出版日期 | 2015-07-28 |
| 期号 | 04页码:92-93+96 |
| 关键词 | 绝对式光栅尺 精度检测 激光干涉仪 精度修正 |
| 中文摘要 | 针对绝对式光栅尺产品的精度检测需求,对精度检测设备进行了设计。首先根据光栅尺产品的精度参数,确定检测手段和检测指标,介绍了检测过程存在的基本误差项。然后给出了检测设备详细的检测方案,并对该方案进行了误差分析。最终给出了绝对式光栅尺产品的精度检测与修正方法。检测与修正试验表明修正后光栅尺精度达到±1μm/m。 |
| 源URL | [http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53931]  |
| 专题 | 长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑黎明. 绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法[J]. 机电产品开发与创新,2015(04):92-93+96. |
| APA | 郑黎明.(2015).绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法.机电产品开发与创新(04),92-93+96. |
| MLA | 郑黎明."绝对式光栅尺产品的精度检测设备与精度修正方法".机电产品开发与创新 .04(2015):92-93+96. |
入库方式： OAI收割
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